Skenovací elektronová mikroskopie a metody mikrosvazkové analýzy
Kód | Zakončení | Kredity | Rozsah | Jazyk výuky |
---|---|---|---|---|
11SEM | ZK | 2 | 2+0 | česky |
- Garant předmětu:
- Přednášející:
- Cvičící:
- Předmět zajišťuje:
- katedra inženýrství pevných látek
- Anotace:
-
Cílem přednášky je seznámit studenty s prací na skenovacím elektronovém mikroskopu (SEM) a možnostmi svazkových analytických metod, které jsou na takových zařízeních dostupné. S ohledem na fyzikální principy budou rozebrány metody zobrazení, analytické metody dostupné na SEM a postupy při přípravě vzorků.
Student by měl být schopen se snadno zaškolit na konkrétním přístroji, po nezbytném praktickém výcviku si připravit vzorek a vybrat správnou techniku pro řešení konkrétního problému, ale i všeobecně se orientovat v dostupné experimentální technice.
- Požadavky:
-
Předmět navazuje na základní znalosti ze struktury pevných látek a fyziky.
- Osnova přednášek:
-
1.Elektronová mikroskopie, historie a konstrukce přístroje
2.Elektronová optika, tvorba obrazu a detekce signálu
3.Techniky pozorování nevodivých vzorků ? nízkonapěťová a nízkovakuová mikroskopie
4.Generace charakteristického rentgenového záření a jeho spektroskopie, detektory, oblasti detekce
5.Energiově-disperzní spektroskopie (EDS), zpracování spektra a vyhodnocení složení
6.Vlnově disperzní spektroskopie (WDS), Rentgenová fluorescence (?-XRF)
7.Rozptyl zpět rozptýlených elektronů (EBSD) ? Kikuchiho linie, zpracování signálu, Houghova transformace
8.Reálná struktura krystalů pomocí EBSD, kombinované mapování EDS/EBSD, HR-EBSD pomocí autokorelačního srovnávání Kikuchiho obrazců, kanálování (ECP)
9.Katodoluminiscence (CL), metody založené na měření proudu ? electron beam induced current (EBIC), integrace AFM do SEM
10.Fokusovaný iontový svazek (FIB) integrovaný do SEM, konstrukce přístroje, základní techniky, kombinované techniky ? 3D rekonstrukce
11.Kombinované experimenty v komoře SEM ? in-situ stolky, deformační a teplotní experiment
12.Příprava vzorků ? konvenční metalografie broušením a leštěním, elektrochemické leštění, iontová příprava povrchů
- Osnova cvičení:
-
Předmět neobsahuje cvičení
- Cíle studia:
-
Znalosti:
Cílem přednášky je seznámit studenty s prací na skenovacím elektronovém mikroskopu (SEM) a možnostmi svazkových analytických metod, které jsou na takových zařízeních dostupné. S ohledem na fyzikální principy budou rozebrány metody zobrazení, analytické metody dostupné na SEM a postupy při přípravě vzorků.
Dovednosti:
Student by měl být schopen se snadno zaškolit na konkrétním přístroji, po nezbytném praktickém výcviku si připravit vzorek a vybrat správnou techniku pro řešení konkrétního problému, ale i všeobecně se orientovat v dostupné experimentální technice.
- Studijní materiály:
-
Povinná literatura:
Scanning Electron Microscopy Physics of Image Formation and Microanalysis, Ludwig Reimer, ISBN: 978-3-642-08372-3 Springer-Verlag Berlin Heidelberg 1985, 1998
Doporučená literatura:
Scanning Electron Microscopy and X-Ray Microanalysis, J. I. Goldstein, D. E. Newbury, P. Echlin, D. C. Joy, A. D. Romig Jr., Ch. E. Lifshin, ISBN-13: 978-0306472923, Plenum Press, New York, 1992, 1981
Handbook of Sample Preparation for Scanning Electron Microscopy and X-Ray Microanalysis - Patrick Echlin, ISBN: 0387857303, Springer Science+Business Media, LLC 2009
Electron Backscatter Diffraction in Materials Science,
Adam J. Schwartz, Mukul Kumar, Brent L. Adams, David P. Field, 2nd Edition, ISBN 978-0-387-88135-5, Springer Science+Business Media, LLC 2009
Introduction to Focused Ion Beams Instrumentation, Theory, Techniques and Practice, Lucille A. Giannuzzi , Fred A. Stevie, ISBN: 0-387-23116-1, Springer Science + Business Media, Inc., 2005
Zkoumání látek elektronovým paprskem, V. Hulínsky, K. Jurek, SNTL, Praha 1982
Úvod do transmisní elektronové mikroskopie, Miroslav Karlík, ISBN: 978-80-0104-729-3, ČVUT, Praha, 2011
- Poznámka:
- Další informace:
- Pro tento předmět se rozvrh nepřipravuje
- Předmět je součástí následujících studijních plánů:
-
- Fyzikální elektronika - Fotonika (volitelný předmět)
- Inženýrství pevných látek (volitelný předmět)