SEM a metody mikrosvazkové analýzy

Garant předmětu:

Jaromír Kopeček

Přednášející:

Jaromír Kopeček

Cvičící:

Předmět zajišťuje:

katedra inženýrství pevných látek

Anotace:

Cílem přednášky je seznámit studenty s prací na skenovacím elektronovém mikroskopu (SEM) a možnostmi svazkových analytických metod, které jsou na takových zařízeních dostupné. S ohledem na fyzikální principy budou rozebrány metody zobrazení, analytické metody dostupné na SEM a postupy při přípravě vzorků.

Student by měl být schopen se snadno zaškolit na konkrétním přístroji, po nezbytném praktickém výcviku si připravit vzorek a vybrat správnou techniku pro řešení konkrétního problému, ale i všeobecně se orientovat v dostupné experimentální technice.

Požadavky:

Předmět navazuje na základní znalosti ze struktury pevných látek a fyziky.

Osnova přednášek:

1.Elektronová mikroskopie, historie a konstrukce přístroje

2.Elektronová optika, tvorba obrazu a detekce signálu

3.Techniky pozorování nevodivých vzorků ? nízkonapěťová a nízkovakuová mikroskopie

4.Generace charakteristického rentgenového záření a jeho spektroskopie, detektory, oblasti detekce

5.Energiově-disperzní spektroskopie (EDS), zpracování spektra a vyhodnocení složení

6.Vlnově disperzní spektroskopie (WDS), Rentgenová fluorescence (?-XRF)

7.Rozptyl zpět rozptýlených elektronů (EBSD) ? Kikuchiho linie, zpracování signálu, Houghova transformace

8.Reálná struktura krystalů pomocí EBSD, kombinované mapování EDS/EBSD, HR-EBSD pomocí autokorelačního srovnávání Kikuchiho obrazců, kanálování (ECP)

9.Katodoluminiscence (CL), metody založené na měření proudu ? electron beam induced current (EBIC), integrace AFM do SEM

10.Fokusovaný iontový svazek (FIB) integrovaný do SEM, konstrukce přístroje, základní techniky, kombinované techniky ? 3D rekonstrukce

11.Kombinované experimenty v komoře SEM ? in-situ stolky, deformační a teplotní experiment

12.Příprava vzorků ? konvenční metalografie broušením a leštěním, elektrochemické leštění, iontová příprava povrchů

Osnova cvičení:

Cíle studia:

Studijní materiály:

Poznámka:

Rozvrh na zimní semestr 2025/2026:

Rozvrh není připraven

Rozvrh na letní semestr 2025/2026:

Rozvrh není připraven

Předmět je součástí následujících studijních plánů: