Modifikace a diagnostika povrchových vlastností pevných látek

Garant předmětu:

Přednášející:

Cvičící:

Předmět zajišťuje:

ústav fyziky

Anotace:

Rozdělení metod modifikace vlastností pevných látek: fázové transformace,difúzní, plazmová, iontová nitridace; metody IBAD, IBM a iontové rozprašování,metody PVD, CVD a PACVD, plazmový nástřik. Metody diagnostiky vlastností pevných látek: analýza chemického složení, RBS, GDOES, SIMS, AES, ERDA fázová analýza, XRD, LEED, RHEED, diagnostika užitných vlastností.

Požadavky:

Osnova přednášek:

1. Charakteristika povrchů pevných látek, fázové transformace.

2. Difúze v pevných látkách, interakce plynů a plazmatu s povrchy pevných látek.

3. Metody nitridace a karbonizace materiálů.

4. Metoda IBAD (Ion Beam Assisted Deposition), IBM (Ion Beam Mixing).

5. PVD (Physical Vapour Deposition) –techniky napařování a naprašování.

6. CVD (Chemical Vapour Deposition) a PA CVD (Plasma Assisted CVD).

7. Difrakce rentgenova záření, elektronů a neutronů na površích, XRD (X-Ray Diffraction).

8. Aplikace difrakce elektronů, LEED (Low Energy Electron Diffraction), RHEED.

9. EPMA (Electron Probe Microanalysis), princip a možnosti metody.

10. AES (Auger Electron Spectroscopy), GDOES (Glow Discharge Optical Emission Spectroscopy), principy a

možnosti metod.

11. RBS (Rutherford Backscattering Spectroscopy), ERDA (Elastic Recoil Electron Analysis), principy a možnosti

metod.

12. SIMS (Secondary Ion Mass Spectrometry), princip a možnosti metody. Shrnutí analytických metod.

13. Přehled metod diagnostiky užitných vlastností, nanoindentace, scratch test, pin on disk, AFM, SEM, principy a

možnosti metod.

Informa

Osnova cvičení:

Cíle studia:

Studijní materiály:

[1] Sedláček V.: Povrchy a povlaky kovů, ČVUT, 1992

[2] Gricová M., Metody analýzy materiálů, ČVUT, 1988

[3] Frank L., Král J. (ed.): Metody analýzy povrchů, Academia, Praha, 2002

[4] Wachtman,J.B; Haber,R.A.: Ceramic Films and Coatings, Noyes Publications, Park Ridge,1993 Bunshah,R.F.:

Handbook of Hard Coatings,Noyes Publications, Park Ridge,2001

Poznámka:

Další informace:

Pro tento předmět se rozvrh nepřipravuje

Předmět je součástí následujících studijních plánů: