Technika a aplikace iontových svazků

Garant předmětu:

Přednášející:

Cvičící:

Předmět zajišťuje:

katedra laserové fyziky a fotoniky

Anotace:

Tvorba a formování iontového svazku, optika nabitých částic, interakce iontů s pevnou látkou, technologické a analytické aplikace.

Požadavky:

klasická mechanika, elektrodynamika

Osnova přednášek:

Procesy ionizace, iontové idroje. Formování iontového svazku, charakteristiky iontováho svazku. Transport iontového svazku, prvky iontové optiky; maticový popis; čočky, ohýbací magnety, elektrostatická prismata, zrcadla. Zařízení s iontovým svazkem. Jevy, provázející bombardování pevné látky iontovým svazkem. Průnik iontů látkou; brzdná schopnost, dolet, kanálování; radiační poškození; iontové odprašování. Modifikace materiálů iontovým svazkem; aplikace. Analýzy iontovým svazkem.

Osnova cvičení:

Cíle studia:

Znalost iontové optiky a aplikací iontových svazků na modifikace a analýzy pevných látek.

Schopnost rozumět zařízením s iontovým svazkem.

Studijní materiály:

Povinná literatura:

[1] - J. Král: Iontové svazky. Text přednášky v elektronické formě.

Doporučená literatura:

[2] A. Septier - Focusing of charge particles, Academic Press, 1967.

[3] P. D. Townsend, J. C. Kelly, N. E. W. Hartley - Ion Implantation, Sputtering,and their Applications, Academic Press, 1976.

[4] L. Frank, J. Král, (Eds.) - Metody analýzy povrchů III, Iontové, sondové a speciální metody, Academia,2002.

Poznámka:

volitelný předmět

Další informace:

Pro tento předmět se rozvrh nepřipravuje

Předmět je součástí následujících studijních plánů: