Experimentální metody fyziky plazmatu
Kód | Zakončení | Kredity | Rozsah |
---|---|---|---|
W02O001 | ZK | 4P+1C |
- Garant předmětu:
- Petr Vlčák
- Přednášející:
- Petr Vlčák
- Cvičící:
- Petr Vlčák
- Předmět zajišťuje:
- ústav fyziky
- Anotace:
-
Předmět uvádí do problematiky plazmatu z hlediska aplikace plazmových metod ve strojírenství. Výboje v plynech jako zdroje nízkoteplotního plazmatu. Charakterizace jednotlivých typů výbojů. Základní parametry plazmatu. Boltzmannova transportní rovnice, ambipolární difúze. Diagnostika plasmatu, hmotnostní spektrometrie plynů. Sondové metody, jejich měření a vyhodnocování. Optické diagnostické metody, emisní a absorpční spektrometrie, vyhodnocování spekter. Aplikace plazmových metod v oboru depozice povlaků a modifikací povrchů.
- Požadavky:
-
Znalost fyziky na úrovni základního kurzu.
- Osnova přednášek:
-
1.Možnosti aplikací plazmově podporovaných metod v technice.
2.Základní vlastnosti plazmatu, parametry a popis plazmatu.
3.Výboje v plynech jako zdroje plazmatu v technice.
4.Boltzmannova transportní rovnice, ambipolární difúze.
5.Diagnostika plazmatu, hmotnostní spektroskopie.
6.Sondové metody, vyhodnocení měření.
7.Optická emise plazmatu, emisní a absorpční spektroskopie.
8.Interakce plazmatu s povrchy pevných látek.
9.Proces plazmové nitridace.
10.Plazmové procesy při magnetronovém naprašování.
11.Plazmové procesy při dalších metodách depozice povlaků.
12.Plazmové procesy při svařování a řezání materiálů.
- Osnova cvičení:
-
1.Základy práce s vakuovými soustavami.
2.Doutnavý výboj, měření parametrů
3.Práce s hmotnostním spektrometrem.
4.Měření a vyhodnocení optické emise plazmatu.
5.Magnetronové naprašování tvrdých povlaků.
6.Depozice povlaků napařováním a iontovým plátováním.
- Cíle studia:
-
Seznámit doktorandy se základními poznatky fyziky nízkoteplotního plazmatu tak, aby porozuměli procesům probíhajícím při plazmově podporovaných technologiích (modifikace povrchů, depozice povlaků, dělení materiálů atd.) a byli schopni tyto technologie modifikovat pro plnění konkrétních zadání.
- Studijní materiály:
-
Chen,F.F;: Úvod do fyziky plazmatu, Academia, Praha, 1984.
Kracík, J.Tobiáš,J.; Fyzika plazmatu, Academia, Praha, 1966.
Kleczek, J.; Plazma ve vesmíru i v laboratoři, Academia, Praha, 1968.
- Poznámka:
- Rozvrh na zimní semestr 2022/2023:
- Rozvrh není připraven
- Rozvrh na letní semestr 2022/2023:
- Rozvrh není připraven
- Předmět je součástí následujících studijních plánů: