Logo ČVUT
ČESKÉ VYSOKÉ UČENÍ TECHNICKÉ V PRAZE
STUDIJNÍ PLÁNY
2019/2020

Mikrosystémy

Předmět není vypsán Nerozvrhuje se
Kód Zakončení Kredity Rozsah Jazyk výuky
A8M34MST Z,ZK 5 2P+2L česky
Korekvizita:
Bezpečnost práce v elektrotechnice pro magistry (BEZM)
Přednášející:
Cvičící:
Předmět zajišťuje:
katedra mikroelektroniky
Anotace:

Předmět se zabývá systémovou integrací uplatňovanou při návrhu digitálních a analogových systémů s uplatňováním

systémového inženýrství, řeší propojení různých typů moderních elektronických systémů na čipu a externích. Ukazuje na

nové možnosti realizace a aplikace integrovaných mikrosoučástí pracujících s různými principy a veličinami

využívajícími především MEMS technologií, zvyšování spolehlivost se všemi jejími atributy. Předmět představuje

moderní prvky - mikroaktuátory s různými principy jejich činnosti včetně základních aplikací v průmyslu, medicíně,

regulaci, řízení automobilismu, apod. Jsou zde zmíněny základní prvky využití nanotechnologií a nanoelektronických

struktur.

Požadavky:
Osnova přednášek:

1. Mikrosystém a mikrosystémové struktury, energetické domény

2. Aktuátory - základní využívané fyzikální a biochemické principy a mechanismy, scaling

3. MEMS a MOEMS struktury, konstrukce MEMS komponent a RF prvků (elektronické přepínače, filtry, optické

přepínače, laditelné kapacity a další)

4. Mikroaktuátory a jejich fyzikální principy a vlastnosti

5. Elektrostatické lineární a rotační aktuátory, manipulátory a mikromotory

6. Piezoelektrické mikroaktuátory, mikromotory a manipulátory

7. Mikroaktuátory s magnetickými a tepelnými principy

8. Optické a mechanické mikroaktuátory a mikropohony

9. Mikroaktuátory s chemickými a biochemickými principy, Lab-on-Chip, mikrospektrometry

10. Taktilní senzory a principy činnosti dotykových displejů, biometrické součásti

11. Taktilní senzory a principy činnosti dotykových displejů

12. Manipulátory a mikromotorky, využití pro řízení, mikroposuvy apod.

13. Mikrosystémové technologie (včetně MEMS)

14. NEMS nanostruktury s využitím nanomateriálů

Osnova cvičení:
Cíle studia:
Studijní materiály:

1. Husák,M.: Mikrosenzory a mikroaktuátory. Academia 2008

2. Fraden,J.: Handbook of modern sensors. American Institute of Physics, Woodbury 1997

Poznámka:
Další informace:
http://moodle.fel.cvut.cz/
Pro tento předmět se rozvrh nepřipravuje
Předmět je součástí následujících studijních plánů:
Platnost dat k 17. 10. 2019
Aktualizace výše uvedených informací naleznete na adrese http://bilakniha.cvut.cz/cs/predmet2698206.html