Logo ČVUT
ČESKÉ VYSOKÉ UČENÍ TECHNICKÉ V PRAZE
STUDIJNÍ PLÁNY
2019/2020

Diagnostika tenkých vrstev

Předmět není vypsán Nerozvrhuje se
Kód Zakončení Kredity Rozsah Jazyk výuky
XP13DTF Z,ZK 4 2P+2L
Přednášející:
Tomáš Polcar (gar.)
Cvičící:
Tomáš Polcar (gar.)
Předmět zajišťuje:
katedra elektrotechnologie
Anotace:

Surface characterization. Definition of a thin film. Deposition methods; chemical vapor deposition, physical vapor deposition. Thin film characterization: optical methods; electron diffraction. Ion implantation. X-ray diffraction and photoelectron spectroscopy. Thickness, mechanical, optical and electrical properties.

Výsledek studentské ankety předmětu je zde: http://www.fel.cvut.cz/anketa/aktualni/courses/XP13DTF

Požadavky:
Osnova přednášek:

1. Ideal and real surface, surface roughness, surface characterization

2. Definition of thin film, Chemical Vapor Deposition

3. Physical Vapor Deposition, Growth of thin films

4. Optical Methods, AFM

5. Electron Diffraction, LEED and RHEED methods

6. Scanning Electron Microscopy (SEM), Energy-Dispersive X-ray Spectroscopy

7. Auger Electron Spectroscopy (AES), Transmission Electron Microscopy (TEM)

8. Ion implantation, Secondary Ion Mass Spectroscopy (SIMS)

9. Rutherford Backscattering Spectroscopy (RBS), Elastic Recoil Detection Analysis (ERDA)

10. X-ray Diffraction, X-ray Photoelectron spectroscopy

11. Thickness measurements

12. Mechanical properties

13. Optical and electrical properties

Osnova cvičení:

PhD students will visit research laboratories and carry out simple measurements on selected samples (AFM, SEM/EDX, XRD, Raman, etc).

Cíle studia:

The main goal is to provide an overview of analytical methods focused mainly on thin films deposited by chemical and physical vapor deposition.

Studijní materiály:

1. Surface Analysis: The Principal Techniques, John C. Vickerman, Ian Gilmore (Editors), Wiley, 2nd edition, 2009, ISBN 0470017643

2. Surface Analysis Methods in Materials Science, D.J. O'Connor, Brett A. Sexton, Roger S.C. Smart (Editors) , Springer, 2nd edition, 2010, ISBN 3642074588

Poznámka:

Předmět je vyučován pouze v anglickém jazyce

Další informace:
Pro tento předmět se rozvrh nepřipravuje
Předmět je součástí následujících studijních plánů:
Platnost dat k 20. 9. 2019
Aktualizace výše uvedených informací naleznete na adrese http://bilakniha.cvut.cz/cs/predmet1742806.html