Mikrosystémy

Podmínkou zápisu na předmět A8M34MST je, že student si nejpozději ve stejném semestru zapsal příslušný počet předmětů ze skupiny BEZBM

Garant předmětu:

Přednášející:

Cvičící:

Předmět zajišťuje:

katedra mikroelektroniky

Anotace:

Předmět se zabývá systémovou integrací uplatňovanou při návrhu digitálních a analogových systémů s uplatňováním

systémového inženýrství, řeší propojení různých typů moderních elektronických systémů na čipu a externích. Ukazuje na

nové možnosti realizace a aplikace integrovaných mikrosoučástí pracujících s různými principy a veličinami

využívajícími především MEMS technologií, zvyšování spolehlivost se všemi jejími atributy. Předmět představuje

moderní prvky - mikroaktuátory s různými principy jejich činnosti včetně základních aplikací v průmyslu, medicíně,

regulaci, řízení automobilismu, apod. Jsou zde zmíněny základní prvky využití nanotechnologií a nanoelektronických

struktur.

Požadavky:

Osnova přednášek:

1. Mikrosystém a mikrosystémové struktury, energetické domény

2. Aktuátory - základní využívané fyzikální a biochemické principy a mechanismy, scaling

3. MEMS a MOEMS struktury, konstrukce MEMS komponent a RF prvků (elektronické přepínače, filtry, optické

přepínače, laditelné kapacity a další)

4. Mikroaktuátory a jejich fyzikální principy a vlastnosti

5. Elektrostatické lineární a rotační aktuátory, manipulátory a mikromotory

6. Piezoelektrické mikroaktuátory, mikromotory a manipulátory

7. Mikroaktuátory s magnetickými a tepelnými principy

8. Optické a mechanické mikroaktuátory a mikropohony

9. Mikroaktuátory s chemickými a biochemickými principy, Lab-on-Chip, mikrospektrometry

10. Taktilní senzory a principy činnosti dotykových displejů, biometrické součásti

11. Taktilní senzory a principy činnosti dotykových displejů

12. Manipulátory a mikromotorky, využití pro řízení, mikroposuvy apod.

13. Mikrosystémové technologie (včetně MEMS)

14. NEMS nanostruktury s využitím nanomateriálů

Osnova cvičení:

Cíle studia:

Studijní materiály:

1. Husák,M.: Mikrosenzory a mikroaktuátory. Academia 2008

2. Fraden,J.: Handbook of modern sensors. American Institute of Physics, Woodbury 1997

Poznámka:

Další informace:

http://moodle.fel.cvut.cz/

Pro tento předmět se rozvrh nepřipravuje

Předmět je součástí následujících studijních plánů:

• Otevřené elektronické systémy - Integrované elektronické systémy (povinný předmět oboru)