Diagnostika tenkých vrstev
Kód | Zakončení | Kredity | Rozsah | Jazyk výuky |
---|---|---|---|---|
XP35DTF | Z,ZK | 4 | 2P+2L | anglicky |
- Garant předmětu:
- Tomáš Polcar
- Přednášející:
- Tomáš Polcar
- Cvičící:
- Tomáš Polcar
- Předmět zajišťuje:
- katedra řídicí techniky
- Anotace:
-
Surface characterization. Definition of a thin film. Deposition methods; chemical vapor deposition, physical vapor deposition. Thin film characterization: optical methods; electron diffraction. Ion implantation. X-ray diffraction and photoelectron spectroscopy. Thickness, mechanical, optical and electrical properties.
Výsledek studentské ankety předmětu je zde: http://www.fel.cvut.cz/anketa/aktualni/courses/XP13DTF
- Požadavky:
- Osnova přednášek:
-
1. Ideal and real surface, surface roughness, surface characterization
2. Definition of thin film, Chemical Vapor Deposition
3. Physical Vapor Deposition, Growth of thin films
4. Optical Methods, AFM
5. Electron Diffraction, LEED and RHEED methods
6. Scanning Electron Microscopy (SEM), Energy-Dispersive X-ray Spectroscopy
7. Auger Electron Spectroscopy (AES), Transmission Electron Microscopy (TEM)
8. Ion implantation, Secondary Ion Mass Spectroscopy (SIMS)
9. Rutherford Backscattering Spectroscopy (RBS), Elastic Recoil Detection Analysis (ERDA)
10. X-ray Diffraction, X-ray Photoelectron spectroscopy
11. Thickness measurements
12. Mechanical properties
13. Optical and electrical properties
- Osnova cvičení:
-
PhD students will visit research laboratories and carry out simple measurements on selected samples (AFM, SEM/EDX, XRD, Raman, etc).
- Cíle studia:
-
The main goal is to provide an overview of analytical methods focused mainly on thin films deposited by chemical and physical vapor deposition.
- Studijní materiály:
-
1. Surface Analysis: The Principal Techniques, John C. Vickerman, Ian Gilmore (Editors), Wiley, 2nd edition, 2009, ISBN 0470017643
2. Surface Analysis Methods in Materials Science, D.J. O'Connor, Brett A. Sexton, Roger S.C. Smart (Editors) , Springer, 2nd edition, 2010, ISBN 3642074588
- Poznámka:
-
Předmět je vyučován pouze v anglickém jazyce
- Rozvrh na zimní semestr 2024/2025:
- Rozvrh není připraven
- Rozvrh na letní semestr 2024/2025:
- Rozvrh není připraven
- Předmět je součástí následujících studijních plánů: