Vakuová fyzika a technika

Přednášející:

Jaroslav Král (gar.)

Cvičící:

Jaroslav Král (gar.), Jan Remsa

Předmět zajišťuje:

katedra fyzikální elektroniky

Anotace:

Zředěné plyny: základní pojmy a vztahy; proudění zředěných plynů. Interakce plynu s povrchem pevné látky; sorpce, desorpce; vypařování, kondenzace; průnik plynu pevnou látkou.

Vytváření vakua. Čerpací proces. Vývěvy. Vakuová měření: manometry celkového a parciálního tlaku; čerpací rychlost, proud plynu, vodivost, hledání netěsností.

Materiály a díly pro vakuová zařízení.

Praktická cvičení.

Požadavky:

Základy termodynamiky

Osnova přednášek:

- Základní pojmy a vztahy fyziky zředěných plynů.

- Čerpací proces

- Transportní vývěvy

- Sorpční vývěvy

- Metody měření vakua

- Materiály a díly vakuové techniky

Osnova cvičení:

- Měření s rotační vývěvou

- Měření s difuzní vývěvou

- Měření s kryosopční vývěvou

- Turbomolekulární vývěva a hmotnostní analyza zbytkových plynů

- Metody hledání netěsností

- Vakuové napařování tenkých vrstev.

Cíle studia:

Znalosti:

Poznání vlastností zředěných plynů, získávání a měření vakua.

Schopnosti:

Pracovat s jednoduchou vakuovou aparaturou.

Studijní materiály:

Povinná literatura:

[1] Z.Češpíro - Vakuová technika, skriptum ČVUT v Praze; vydavatelství ČVUT, Praha, 1977.

[2] J.Král - Cvičení z vakuové techniky, skriptum ČVUT v Praze; Vydavatelství ČVUT, Praha, 1996.

Doporučená literatura:

[3] J.Groszkowski - Technika vysokého vakua, SNTL Praha, 1981.

[4] S.Dushman - Scientific foundation of vacuum technique, Wiley & Sons, New York, 1962. (V ruském překladu: S.Dešman - Naučnye osnovy vakuumnoj techniki; Mir, Moskva, 1964.)

[5] J.F. O´Hanlon - A User´s guide to vacuum technology, Wiley - Interscience; 2003.

Studijní pomůcky: Vybavení vakuového praktika

Poznámka:

povinný předmět

Rozvrh na zimní semestr 2011/2012:

Rozvrh není připraven

Rozvrh na letní semestr 2011/2012:

Rozvrh není připraven

Předmět je součástí následujících studijních plánů: