Vakuová technika

Předmět 12VKT nesmí být zapsán, je-li v témže semestru zapsán anebo již dříve absolvován předmět 12VAK (vztah je symetrický)

Garant předmětu:

Vojtěch Petráček

Přednášející:

Richard Švejkar

Cvičící:

Richard Švejkar

Předmět zajišťuje:

katedra fyzikální elektroniky

Anotace:

Zředěné plyny: základní pojmy a vztahy; difuse, proudění zředěných plynů, tok plynu, proud plynu, vodivost.Interakce plynu s povrchempevné látky; sorpce, desorpce; průnik plynu pevnou látkou. Vypařování, kondenzace. Vytváření vakua: čerpací proces, mezní tlak, čerpací rychlost.Vývěvy a jejich vlastnosti: transportní vývěvy: membránová, rotační olejová, rootsova, difusní, molekulární, turbomolekulární. Sorpční vývěvy: kryosorpční, kryogenní, sublimační svypařovanými a nevypař. getry, iontosorpční. Vakuová měření: celkového a parciálního tlaku; proudu plynu; hledání netěsností. Materiály a díly pro vakuová zařízení. Praktická cvičení.

Požadavky:

Základy termodynamiky

Osnova přednášek:

1. Základní pojmy a vztahy fyziky zředěných plynů.

2. Čerpací proces.

3. Transportní vývěvy

4. Sorpční vývěvy

5. Metody měření vakua

6. Materiály a díly vakuové techniky

Osnova cvičení:

1. Měření s rotační vývěvou

2. Měření s difuzní vývěvou

3. Měření s kryosopční vývěvou

4. Turbomolekulární vývěva a hmotnostní analyza zbytkových plynů

5. Metody hledání netěsností

6. Vakuové napařování tenkých vrstev.

Cíle studia:

Znalosti:

Poznání vlastností zředěných plynů, získávání a měření vakua.

Schopnosti:

Pracovat s jednoduchou vakuovou aparaturou.

Studijní materiály:

Povinná literatura:

[1] Z.Češpíro - Vakuová technika, skriptum ČVUT v Praze; vydavatelství ČVUT, Praha, 1977.

[2] J.Král - Cvičení z vakuové techniky, skriptum ČVUT v Praze; Vydavatelství ČVUT, Praha, 2015.

Doporučená literatura:

[3] J.Groszkowski - Technika vysokého vakua, SNTL Praha, 1981.

[4] S.Dushman - Scientific foundation of vacuum technique, Wiley & Sons, New York, 1962. (V ruském překladu: S.Dešman - Naučnye osnovy vakuumnoj techniki; Mir, Moskva, 1964.)

[5] J.F. O´Hanlon - A User´s guide to vacuum technology, Wiley - Interscience; 2003.

Studijní pomůcky: Vybavení vakuového praktika

Poznámka:

Rozvrh na zimní semestr 2023/2024:

Rozvrh není připraven

Rozvrh na letní semestr 2023/2024:

Rozvrh není připraven

Předmět je součástí následujících studijních plánů:

• Fyzikální inženýrství - Fyzika plazmatu a termojaderné fúze (PS)
• Fyzikální inženýrství - Inženýrství pevných látek (volitelný předmět)
• Jaderná a částicová fyzika (volitelný předmět)
• Fyzikální inženýrství - Laserová technika a fotonika (volitelný předmět)
• Kvantové technologie (volitelný předmět)
• Kvantové technologie (volitelný předmět)
• Jaderná a částicová fyzika (volitelný předmět)