Logo ČVUT
ČESKÉ VYSOKÉ UČENÍ TECHNICKÉ V PRAZE
STUDIJNÍ PLÁNY
2019/2020

Technologie iontových svazků

Přihlášení do KOSu pro zápis předmětu Zobrazit rozvrh
Kód Zakončení Kredity Rozsah
D12TIS ZK
Přednášející:
Tomáš Škereň (gar.), Jaroslav Král (gar.)
Cvičící:
Předmět zajišťuje:
katedra fyzikální elektroniky
Anotace:

Problematika technických aspektů iontových svazků. Jejich tvorba -. iontové zdroje,prvky iontové optiky, měřící systémy podél svazku a kolem terče.. Návrh a konstrukce jednotlivých prvků aparatur pro iontové ozařování a analýzy.

Požadavky:
Osnova přednášek:

1. Iontové zdroje, extrakce a formování iontového svazku a jeho charakteristiky

2. Prvky iontové optiky: čočky, ohýbací magnety, elektrostatická prismata, zrcadla, vychylovací systémy, hmotnostní selektory a analyzátory, energetické analyzátory

3. Sledování a měření svazku na terči

4. Konstrukční materiály a materiály pro tvorbu iontů

5. Aparatury pro iontové ozařování

Osnova cvičení:
Cíle studia:

Znalosti v oblasti technologie iontových svazků, pochopit principů fungování iontových zdrojů, různých prvků iontové optiky a základních technických aspektů konstrukce zařízení pro využití iontových svazků.

Studijní materiály:

Základní:

[1] J. Král: Technika pro iontové svazky. Text přednášky v elektronické formě.

[2] L. Frank, J. Král, (Eds.) - Metody analýzy povrchů III, Iontové, sondové a speciální metody, 2002 Academia.

Doporučená:

[3] A. Septier - Focusing of charge particles, 1967 Academic Press.

[4] R. Berisch, W. Eckstein (Ed.) - Sputtering by particle bombardment, Topics in Applied Physics (book 110), 2007 Springer Verlag.

[5] L.C. Feldman, J. W. Mayer - Fundamentals of Surface and Thin Film Analysis, 1986 North Holland.

Poznámka:
Rozvrh na zimní semestr 2019/2020:
Rozvrh není připraven
Rozvrh na letní semestr 2019/2020:
Rozvrh není připraven
Předmět je součástí následujících studijních plánů:
Platnost dat k 18. 10. 2019
Aktualizace výše uvedených informací naleznete na adrese http://bilakniha.cvut.cz/cs/predmet4581206.html