Introduction to Surface and Thin Film Physics
Kód | Zakončení | Kredity | Rozsah |
---|---|---|---|
AE0M35TVP | Z,ZK | 4 | 2p+2 |
- Přednášející:
- Cvičící:
- Předmět zajišťuje:
- katedra řídicí techniky
- Anotace:
-
The subject is aimed on physics of thin films and surfaces of solids consisting of three parts: i) summary of deposition methods for thin films, ii) description of analytical methods for surface and film analysis, and iii) application of selected analytical and deposition methods. The exercise is focused on practical use of several methods available at CTU in Prague (evaporation, magnetron sputtering, SEM, AFM, etc.)
- Požadavky:
-
Předpokladem pro úspěšné absolvování tohoto kurzu jsou znalosti základů matematiky a fyziky.
- Osnova přednášek:
-
1.Surface and thin films characterization, ideal and real surfaces
2.Physical Vapour Deposition methods for thin film deposition
3.Chemical Vapour Deposition
4.Growth mechanisms of thin films
5.The properties of thin films and metal surfaces
6.Interaction of electrons with surface I: diffraction, LEED and RHEED
7.Interaction of electrons with surface II: Scanning electron microscopy
8.Interaction of electrons with surface III: Auger electron spectroscopy
9.Interaction of ions with surface I: ion implantation, SIMS
10.Interaction of ions with surface II: RBS and ERDA
11.Interaction of radiation with surface: XPS and XRD
12.Scanning tunneling microscopy
13.Atomic force measurement
14.Advanced methods of optical microscopy
- Osnova cvičení:
- Cíle studia:
- Studijní materiály:
-
Walls J.M., Smith R. : Surface Science Techniques, Pergamon, 1994
- Poznámka:
-
Rozsah výuky v kombinované formě studia: 14p+6
- Další informace:
- Pro tento předmět se rozvrh nepřipravuje
- Předmět je součástí následujících studijních plánů: