Úvod do fyziky tenkých vrstev a povrchů

Přednášející:

Cvičící:

Předmět zajišťuje:

katedra řídicí techniky

Anotace:

Přednášky mají za cíl uvést studenty FEL do problematiky fyziky tenkých vrstev a povrchů. Stručný popis depozičních metod tenkých vrstev budou následovat základní analytické metody používané v současném materiálovém výzkumu povrchů a tenkých vrstev. Teoretický výklad bude redukován ve prospěch ukázek praktických aplikací jednotlivých metod. Cvičení předmětu bude zaměřeno na praktické použití depozičních a analytických metod dostupných na ČVUT (napařování, magnetronové naprašování, SEM, AFM).

Požadavky:

Předpokladem pro úspěšné absolvování tohoto kurzu jsou znalosti základů matematiky a fyziky.

Osnova přednášek:

1.Charakteristika povrchů, tenkých vrstev a povlaků, ideální a reálné povrchy

2.Metody přípravy tenkých vrstev PVD

3.Metody přípravy tenkých vrstev CVD

4.Mechanizmy růstu tenkých vrstev

5.Vlastnosti tenkých vrstev a povrchů kovů

6.Interakce elektronů s povrchy I: elektronová difrakce, LEED a RHEED

7.Interakce elektronů s povrchy II: rastrovací elektronová mikroskopie (SEM)

8.Interakce elektronů s povrchy III: spektroskopie Augerových elektronů (AES)

9.Interakce iontů s povrchy I: iontová implantace, spektroskopie sekundárních iontů (SIMS)

10.Interakce iontů s povrchy II: pružný rozptyl nabitých částic (RBS), detekce odražených atomů (ERDA)

11.Interakce záření s povrchy: fotoelektronová spektroskopie (XPS), základy rentgenové difrakce (XRD)

12.Rastrovací tunelová spektroskopie: princip STM

13.Mikroskopie atomárních sil: princip AFM

14.Pokročilé metody optické mikroskopie

Osnova cvičení:

Cíle studia:

Studijní materiály:

Eckertová L. : Fyzika tenkých vrstev, SNTL Praha, 1973

Eckertová L. : Metody analýzy povrchů - elektronová spektroskopie, Academia, Praha, 1990

Gricová M. : Metody analýzy materiálů , skriptum FEL ČVUT, Ediční středisko ČVUT, 1988

Frank L., Král J.: Metody analýzy povrchů - iontové, sondové a speciální metody, Academia, Praha, 2002

Walls J.M., Smith R. : Surface Science Techniques, Pergamon, 1994

Kalvoda L., Parshin A.: Vybraná témata z fyziky povrchů, skriptum ČVUT, Ediční středisko ČVUT, Praha, 2000

Poznámka:

Rozsah výuky v kombinované formě studia: 14p+6

Další informace:

Pro tento předmět se rozvrh nepřipravuje

Předmět je součástí následujících studijních plánů: