Úvod do fyziky tenkých vrstev a povrchů
Kód | Zakončení | Kredity | Rozsah |
---|---|---|---|
AD0M35TVP | Z,ZK | 4 | 14+6L |
- Přednášející:
- Cvičící:
- Předmět zajišťuje:
- katedra řídicí techniky
- Anotace:
-
Přednášky mají za cíl uvést studenty FEL do problematiky fyziky tenkých vrstev a povrchů. Stručný popis depozičních metod tenkých vrstev budou následovat základní analytické metody používané v současném materiálovém výzkumu povrchů a tenkých vrstev. Teoretický výklad bude redukován ve prospěch ukázek praktických aplikací jednotlivých metod. Cvičení předmětu bude zaměřeno na praktické použití depozičních a analytických metod dostupných na ČVUT (napařování, magnetronové naprašování, SEM, AFM).
- Požadavky:
-
Předpokladem pro úspěšné absolvování tohoto kurzu jsou znalosti základů matematiky a fyziky.
- Osnova přednášek:
-
1.Charakteristika povrchů, tenkých vrstev a povlaků, ideální a reálné povrchy
2.Metody přípravy tenkých vrstev PVD
3.Metody přípravy tenkých vrstev CVD
4.Mechanizmy růstu tenkých vrstev
5.Vlastnosti tenkých vrstev a povrchů kovů
6.Interakce elektronů s povrchy I: elektronová difrakce, LEED a RHEED
7.Interakce elektronů s povrchy II: rastrovací elektronová mikroskopie (SEM)
8.Interakce elektronů s povrchy III: spektroskopie Augerových elektronů (AES)
9.Interakce iontů s povrchy I: iontová implantace, spektroskopie sekundárních iontů (SIMS)
10.Interakce iontů s povrchy II: pružný rozptyl nabitých částic (RBS), detekce odražených atomů (ERDA)
11.Interakce záření s povrchy: fotoelektronová spektroskopie (XPS), základy rentgenové difrakce (XRD)
12.Rastrovací tunelová spektroskopie: princip STM
13.Mikroskopie atomárních sil: princip AFM
14.Pokročilé metody optické mikroskopie
- Osnova cvičení:
- Cíle studia:
- Studijní materiály:
-
Eckertová L. : Fyzika tenkých vrstev, SNTL Praha, 1973
Eckertová L. : Metody analýzy povrchů - elektronová spektroskopie, Academia, Praha, 1990
Gricová M. : Metody analýzy materiálů , skriptum FEL ČVUT, Ediční středisko ČVUT, 1988
Frank L., Král J.: Metody analýzy povrchů - iontové, sondové a speciální metody, Academia, Praha, 2002
Walls J.M., Smith R. : Surface Science Techniques, Pergamon, 1994
Kalvoda L., Parshin A.: Vybraná témata z fyziky povrchů, skriptum ČVUT, Ediční středisko ČVUT, Praha, 2000
- Poznámka:
-
Rozsah výuky v kombinované formě studia: 14p+6
- Další informace:
- Pro tento předmět se rozvrh nepřipravuje
- Předmět je součástí následujících studijních plánů: