Mikrosystémy

Přednášející:

Miroslav Husák (gar.)

Cvičící:

Miroslav Husák (gar.)

Předmět zajišťuje:

katedra mikroelektroniky

Anotace:

Základní pojmy a rozdělení mikrosystémů, mikrosenzory, mikroaktuátory, zpracování signálu v systému, MEMS (mikro-elektro-mechanické strukutry), MOES (mikro-opticko-elektrické struktury), MEMOS (mikro-elektro-mechano-optické struktury), navrhování mikrosystémů, modelování mikrosystémů, technologie výroby, materiály, aplikace v průmyslu a medicíně.

Požadavky:

c

Osnova přednášek:

1. Základní pojmy a rozdělení mikrosystémů

2. Mikrosystémy v evropském výzkumu a uplatnění na trhu

3. Mikrosenzory

4. Mikroaktuátory

5. Zpracování signálu v systému

6. MEMS (mikro-elektro-mechanické struktury

7. MOES (mikro-opticko-elektrické struktury)

8. MEMOS (mikro-elektro-mechano-optické struktury)

9. Navrhování mikrosystémů

10. Modelování mikrosystémů

11. Technologie výroby

12. Materiály

13. Aplikace v průmyslu

14. Aplikace v medicíně

Osnova cvičení:

n

Cíle studia:

Studijní materiály:

1. Beeby,S., Ensell,G., Kraft,M., White,N.: MEMS Mechanical Sensors. Artech House, Boston, 2004.

2. Pelesko,J.A., Bernstein,D.H.: Modeling MEMS and NEMS. Chapman & Hall/CRC, Boca Raton, 2003.

3. Varadan,V.K., Vinoy,K.J., Jose,K.A.: RF MEMS and their applications. Wiley, Chichester, 2003.

Poznámka:

Rozvrh na zimní semestr 2011/2012:

Rozvrh není připraven

Rozvrh na letní semestr 2011/2012:

Rozvrh není připraven

Předmět je součástí následujících studijních plánů:

• Doktorské studium, prezenční forma (povinně volitelný předmět)
• Doktorské studium, kombinovaná forma (povinně volitelný předmět)
• Doktorské studium, strukturované prezenční (povinně volitelný předmět)
• Doktorské studium, strukturované kombinované (povinně volitelný předmět)